• <th id="ssv2u"><pre id="ssv2u"></pre></th>

    <th id="ssv2u"></th><th id="ssv2u"><pre id="ssv2u"><sup id="ssv2u"></sup></pre></th>
  • <em id="ssv2u"></em>
    
    <tbody id="ssv2u"><track id="ssv2u"></track></tbody>
  • EN

    產品及應用

    IGBT 激光快速退火系統

    產品介紹

    精確的單 / 雙脈沖控制,對離子注入后的硅基IGBT 圓片背面進行激光快速退火,實現激活深度,有效修復離子注入破壞的晶格結構。

    QQ咨詢
    產品特點
    • ·  10um 激活深度                                 
       · WPH 高達 30

    • · 優異的方阻均勻性和表面顏色                      

    • · 完整的全程監控反饋能力

    • · 支持超薄片、TAIKO 片、翹曲片退火           

    • · 具備激光輔助加熱系統




    應用產品類型

    標準晶圓、Flat 晶圓、Notch 晶圓、Taiko 晶圓

    技術指標
    項目
    LA2540S LA2550SLA2540D LA2550D
    晶圓尺寸4/6、6/8、8/12 inch 兼容
    激光功率60W+150W90W+150W120W+300W 180W+300W 
    8 寸片典型掃描時間110 sec/p 90 sec/p60 sec/p 45 sec/p 
    激光能量密度≥ 5J/cm2 ≥ 5J/cm2
    激光輸出穩定性≤ 2%,RMS,4hrs
    激活率≥ 95% @B Implant,≥ 90% @P Implant
    均勻性片內:≤ 1%,片間:≤ 1%,@8 寸,RS
    粉塵控制≤ 30 @ 0.5um,≤ 5 @ 1um
    自動傳片系統雙 LoadPort、多關節機器手、預準直器


    應用案例

    畫板 2.jpg

    Chengdu Laipu Technology co.,LTD

  • <th id="ssv2u"><pre id="ssv2u"></pre></th>

    <th id="ssv2u"></th><th id="ssv2u"><pre id="ssv2u"><sup id="ssv2u"></sup></pre></th>
  • <em id="ssv2u"></em>
    
    <tbody id="ssv2u"><track id="ssv2u"></track></tbody>
  • <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>